分子泵與擴散泵及其他超高真空泵相比有以下特點:
極限壓力低,先進的泵能獲得10-8Pa的極限壓力;
工作壓力范圍廣,在九個數(shù)量級的范圍內(nèi)有穩(wěn)定抽速;
結(jié)構緊湊,由置于泵體內(nèi)的中頻電機直接驅(qū)動轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動;
體積小,抽速大,獲得的高真空系統(tǒng)清潔無油;
工作震動小,噪音低,工作平穩(wěn),啟動時間短,效率高;
耗能少,節(jié)省能源,是一種省電配置。
技術參數(shù)
FF-250/1600
抽氣速率(1/s):1600
壓縮比:N2:108;H2:5×105
極限壓強(Pa):≤1×106
額定轉(zhuǎn)速(rpm):27000
軸承:陶瓷軸承(耐腐蝕泵需通保護氣體)
排氣口法蘭:KF40 (DN40 ISO-KF)
進氣口法蘭:LF250(DN250 ISO-K)
振動值((μm)):: ≤0.1
冷卻水溫度(℃):≤25
泵體烘烤溫度:≤100
環(huán)境溫度(℃):5-40
充油量(ml):150
安裝方式:豎直±50
重量(kg):47
KYKY系列分子泵應用領域很廣,主要應用在太陽能光伏、LOW-E玻璃、半導體制造、真空檢漏、真空鍍膜、制燈、光盤、分析儀器等諸多行業(yè)。